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測定方法:
①在防靜電的室內(nèi)(丙烯樹脂制、不銹鋼制)設(shè)置氣缸
②提供與顆粒計數(shù)器吸入量(28.3/min)相同流量的潔凈空氣(0.1μm過濾器)
③在不動作狀態(tài),確認顆粒計數(shù)器的值為“0”
④使氣缸動作,測量動作中產(chǎn)生的顆粒
※使用帶密封的測試室,以確保除氣缸發(fā)塵外,其他的顆粒不進入室內(nèi)
測定條件:
空氣質(zhì)量
氣缸驅(qū)動用:「等級2.2.1」(JISB8392-1)
凈化用:「等級2.2.1」+0.1μm氣體過濾器
氣缸供應(yīng)壓力:0.5MPa
氣缸動作速度:一般速度(200mm/s)
動作條件:無負荷、水平設(shè)置(與凈化流量平行)
對排氣處理型的溢流氣口配管,排放到測試室外
對真空除塵型的真空除塵氣口配管,進行真空除塵(-26KPa)